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Used Baratron Gauge

일반적으로 사용되는 압력을 측정하는 게이지로서, 진공 Chamber에 설치되어 실제 진공 Chamber내에 압력을 읽어내는 게이지이며, 보통 ±15VDC의 Power를 필요로 하고 0-10VDC 시그널의 출력을 가지는 Capacitance Manometer는 반도체 공정 및 진공 장비에 사용됩니다.

일반적인 Specification
Pressure	1×10^-6 x 1×10^-3 (Torr))
Fittings	1/2" diameter tabulation, Swagelok 8 VCR female, Mini-CF, rotatable , NW 16 KF,
Fittings	Swagelok 8 VCO female, Swagelok 8 VCO female
Accuracy	0.05 % to 1 %
Temperature(Heating Type)	45°C, 100°C , 150°C, 200°C

	Specification
	Model	627B/628B/629B
	Maker	MKS
	Range	0.1 Torr - 1,000 Torr
	Fitting	1/2" diameter tabulation, Swagelok 8 VCR ,Mini-CF,

	Specification
	Model	624A/625A
	Maker	MKS
	Range	10 Torr - 1,000 Torr
	Fitting	1/2

	Specification
	Model	627A/628A/629A
	Maker	MKS
	Range	0.1 Torr - 1,000 Torr
	Fitting	1/2

	Specification
	Model	622/626
	Maker	MKS
	Range	1 Torr - 1,000 Torr , (0.1 Torr : 626 Only)
	Fitting	1/2" diameter tabulation,Swagelok 8 VCR, Mini-CF,

	Specification
	Model	127
	Maker	MKS
	Range	0.1 Torr - 1,000 Torr
	Fitting	1/2" diameter tabulation, Swagelok 8 VCR ,Mini-CF,

	Specification
	Model	122
	Maker	MKS
	Range	측정범위 : 1 Torr - 1,000 Torr
	Fitting	1/2" diameter tabulation, Swagelok 8 VCR ,Mini-CF

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