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Used MFC Sales


저렴한 가격 으로 고성능, 고가의 제품을 사용할 수 있습니다.

MFC(Mass Flow Controller)

* Gas Bottle에서 나오는 Gas를 고객이 원하는 일정한 유량의 값으로 흐르게 하는 장치입니다.
* 단위로는 제조사별로 다르지만 일반적으로 sccm (Standard Cubic Centimeter per Minutes) 사용합니다.
* 반도체 공정 및 진공 장비에 공정상 필요한 Gas 를 Chamber내로 유입하는데 사용합니다.



Specification


Maker
 AE
 Horiba Stec
Unit
MKS
MODEL 7700 4400/ 1100/ 1179
Full Scale
Range (N2) 		5 sccm ~ 200 SLM 5 sccm ~ 5000 sccm 5 sccm ~ 30 SLM 10 sccm ~ 20 SLM
Maximum Inlet
Pressure 		150 Psig 140 Psig 500 Psig 150 Psig
Differential Pressure 10 ~ 40 Psid 42 Psid 10 ~ 40 Psid 10 ~ 40 Psid
Control Range 0℃ ~50℃ 2% ~ 100% of F.S 2% ~ 100% of F.S 2% ~ 100% of F.S
Accuracy ±1% ±1% ±1% ±1%
Warm-up Time
 2 min 2 min 2 min 2 min
Normal Operation
Temperature 		0℃ ~50℃ 0℃ ~50℃ 0℃ ~50℃ 0℃ ~50℃
Input Voltage Required ±15VDC
@25mA,180mA 		±15VDC
@60mA 		±15VDC
@50mA 		±
Set Point Signal
0 ~ 5VDC
 0 ~ 5VDC
 0 ~ 5VDC
 0 ~ 5VDC
Output Signal
 0 ~ 5VDC
 0 ~ 5VDC
 0 ~ 5VDC
 0 ~ 5VDC
Seal
 7700 : Viton
7800 : Metal 		Metal
 1100,8100 : Viton
1660,8160 : Metal 		Viton
Connector Type
 9 Pin D-sub
20Pin card edge 		9 Pin D-sub
 9 Pin D-sub
20Pin card edge 		9 Pin D-sub
20Pin card edge
Fitting
 4VCR/Swagelok
 4VCR
 4VCR
 4VCR/Swagelok
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